巩毓震扫描电镜有哪些成像信号

纳瑞科技（北京）有限公司(Ion Beam Technology Co.,Ltd.)成立于2006年，是由在聚焦离子束（扫描离子显微镜）应用技术领域有着多年经验的技术骨干创立而成。

扫描电镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是一种广泛用于研究微小物体的显微镜,通过扫描电场将电子束聚焦在样品表面,产生一个高能电子图像。SEM 可以通过不同的成像信号来提供有关样品的信息。本文将介绍扫描电镜的成像信号,并讨论它们对样品研究的意义。

1. 扫描电荷(SEM)

扫描电荷是SEM中的一个关键部件,用于扫描电子束以创建图像。SEM可以通过两种方式使用:扫描电子伏特(SEV)和扫描透镜(SLS)。

SEV扫描电荷使用固定在样品台上的探针(称为阳极)来控制电子束。阳极通常由钨或铜制成,可以承受高能电子束的撞击。SEV扫描可以提供高分辨率的图像,但由于电子束只能沿着一个特定的路径移动,因此只能提供平面图像。

SLS扫描透镜使用一个光学系统来控制电子束。透镜将电子束聚焦在样品表面上,并使其沿着多个路径移动,以形成一个高分辨率的图像。SLS扫描可以提供高质量的图像,但需要使用更复杂的系统。

2. 反向偏置( backscattering)

反向偏置是SEM中的另一个重要部分,用于将电子束从样品表面反弹回来,以产生图像。反向偏置由一个高电位和一个低电位组成。当电子束撞击样品表面时,它会被反弹回来,并且再次撞击到探测器上。这种重复的撞击可以产生一个信号,从而形成图像。反向偏置对于使用高能电子束的SEM非常重要,因为它可以提高图像质量和分辨率。

3. 场发射(Field Emission,FE)

场发射是SEM中另一种重要的成像信号。当电子束撞击样品表面时,它会被反弹回来,并且产生一个电子发射信号。这些信号可以被探测器接收,并用于形成图像。场发射信号可以提供高分辨率的图像,但由于电子束只能沿着一个特定的路径移动,因此只能提供平面图像。

4. 二次电子(Secondary Electron,SE)

二次电子是SEM中的一种成像信号,当高能电子束撞击样品表面时,会产生一个电子发射信号。这个信号可以被探测器接收,并用于形成图像。二次电子信号可以提供高分辨率的图像,但由于电子束只能沿着一个特定的路径移动,因此只能提供平面图像。

5. 能量分析(Energy Analysis,EA)

能量分析是SEM中的另一种重要的成像信号。能量分析可以用来确定样品中的元素类型和数量。当电子束撞击样品表面时,样品中的原子会受到激发,然后电子束会被散射。通过分析电子束的能量,可以确定样品中的元素类型和数量。能量分析对于确定样品中有用信息的含量非常重要。

扫描电镜可以通过不同的成像信号(如扫描电荷、反向偏置、场发射和二次电子)来提供有关样品的信息。这些信号可以提供高分辨率的图像,从而帮助研究人员更好地理解样品。此外,能量分析可以用来确定样品中的元素类型和数量,从而帮助研究人员更好地理解样品。

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